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潔淨室空調淨化係統主要幾種形式

2026-01-28

空調淨化係統
一、電子工業潔淨室空調淨化係統主要形式
電子工業潔淨室空調淨化係統主要有以下幾種形式:
1垂直單向流集中送風方式;
2風機過濾單元送風方式;
3隧道送風方式;
4非單向流送風加層流罩送風方式;
5微環境方式。
以上5種送風方式比較見表9-11。

 

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